特許
J-GLOBAL ID：200903059682502452
表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-173846
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021761
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、凹凸状の欠陥及び表面地合の欠陥等の区別判定を可能とする表面欠陥検査装置を提供する。【構成】 本発明は、被検査面を光走査して被検査面の凹凸データ及び明暗データを得る光走査型測距手段と、上記凹凸データ及び明暗データそれぞれの特徴を得る特徴抽出手段と、この特徴を基に欠陥の種別及び程度を判定する欠陥判定手段とを有し、異なる物理量である凹凸情報及び明暗情報を用いて欠陥判定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検査面を光走査して被検査面の凹凸データおよび明暗データを得る光走査型測距手段と、前記凹凸データおよび明暗データそれぞれの特徴を得る特徴抽出手段と、前記特徴をもとに欠陥の種別・程度を判定する欠陥判定手段と、から成り、異なる物理量である凹凸情報と明暗情報を用いて欠陥判定することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
G01N 21/89 B
, G01B 11/30 E
, G01N 21/88 J
