特許
J-GLOBAL ID：200903059688234514

プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置

発明者：
松永 浩一

松永 浩一 について


出願人/特許権者：
株式会社ハイデン研究所

株式会社ハイデン研究所 について


代理人 (1件)： 原田 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-211744
公開番号（公開出願番号）：特開2004-055362
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】電極へ印加する電圧の立ち上がり時間を改善でき、大気圧近傍の圧力下でのグロー放電により、ストリーマにならない安定したプラズマ発生を実現できるようにする。【解決手段】両電極間で誘電体バリア放電によりプラズマを発生させる場合、両電極A・Bに、極性が正負対称で位相が重複して正負がそれぞれ交互となるパルス波又は正弦波の高電圧を同時に印加する。一方の電極又は両方の電極の高電圧を可変して、プラズマ中のイオンと電子のバランスを調整する【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
両電極間で誘電体バリア放電によりプラズマを発生させる方法であって、前記両電極に、極性が正負対称で位相が重複して正負がそれぞれ交互となるパルス波又は正弦波の高電圧を同時に印加することを特徴とするプラズマ発生方法。
IPC (3件)：
H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  C23C16/50
FI (3件)：
H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  C23C16/50
Fターム (27件)：
4G075AA02 ,  4G075AA22 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BA10 ,  4G075BB10 ,  4G075BC02 ,  4G075BC03 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA16 ,  4G075CA47 ,  4G075DA03 ,  4G075DA04 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075FC13 ,  4G075FC15 ,  4K030FA01 ,  4K030HA08 ,  4K030JA09 ,  4K030JA15 ,  4K030KA30 ,  4K030KA32 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11
引用特許：
審査官引用 (5件)
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