特許

J-GLOBAL ID：200903059691530930

研磨装置及び研磨方法

発明者： 夏原 善信
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-257984
公開番号（公開出願番号）：特開平10-100064
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 複数のワークを面盤にワックスなどで固定し研磨する従来の方法では、ワークの片けずれが発生したり、研磨量にばらつきが生じることがあり、ワークの研磨代が薄い場合には所定の研磨をすることが難しい。【解決手段】 面板にワークを一ずつ固定し、このワークの重心位置近傍をユニバーサルジョイントを介してターンテーブルに押圧し、研磨する。

請求項（抜粋）：

面板に固定したワークをターンテーブルに押圧しながら摺動してワークを研磨する研磨装置であって、前記面板には前記ワークを1個のみを固定し、このワークのほぼ重心位置にユニバーサルジョイントを介してターンテーブルに押圧し研磨することを特徴とする研磨装置。