特許

J-GLOBAL ID：200903059696579776

インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

発明者： 大野 健一 ,  八木 孝 ,  神田 虎彦
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-126213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321355
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：

【要約】【課題】 同一の結晶基板に、インクチャンバとインクプールとを隔壁を介して形成するインクジェット記録ヘッドの隔壁の厚さのばらつきを小さくして、インク充填機能やインク吐出機能への影響を少なくする。【解決手段】 インクチャンバ開口部側にインクプールの頂部に対応する一に開口部を設けて、この開口部の直下にインクプールの底面から進行してくエッチングと接続させ、両面の目合わせ等によるずれを吸収するようにする。

請求項（抜粋）：

シリコン基板にインクに圧力を与えるインクチャンバと、このインクチャンバにインクを供給するインクプールとが隔壁を介して互いに逆方向のテーパ形状に形成され、この隔壁はその壁面が{111}面が現れるように異方性エッチングにより形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インクプールは、前記インクチャンバと同一表面側からの異方性エッチングの履歴を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (7件)：

2C057AF21 ,  2C057AF93 ,  2C057AG68 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP51 ,  2C057AP56