特許

J-GLOBAL ID：200903059700014819

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 畑野 啓介 ,  中柴 康隆
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： ▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360134
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183324
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 光電変換部と電荷読出し電極との位置ずれをなくし、光電変換部から垂直電荷転送部への信号電荷の読出し特性を安定させることが可能な固体撮像装置を提供する。【解決手段】 電極材料膜を溝状に分離することで電荷転送電極1を形成した後、光電変換部3で発生した信号電荷を垂直電荷転送部2に読出すための読出し電極を兼ねる電荷転送電極に、光電変換部3を形成するための開口部を、溝状の分離領域4と重ならないように形成する。その後に、この開口部を形成するためのマスク材料及び電極材料膜をマスクとしてイオン注入を行い、光電変換部3を形成する。

請求項（抜粋）：

第1導電型半導体層の表面領域内に複数個形成された光電変換部と、前記第1導電型半導体層の表面領域内に前記光電変換部に隣接して形成されかつ前記光電変換部で発生した信号電荷を受けて転送する第2導電型の電荷転送部と、前記第1導電型半導体層の表面領域に形成されかつ前記光電変換部で発生した信号電荷を前記電荷転送部に読出す電荷読出し部と、前記電荷読出し部及び前記電荷転送部の上にゲート絶縁膜を介して形成された単層の導電性電極材料膜を加工して形成された電荷転送電極とを含む固体撮像装置であって、前記導電性電極材料膜を単位セル当り1ヶ所以上で行方向に分割する第1の領域と前記光電変換部上の第2の領域とをエッチング除去して前記電荷転送電極を形成し、前記第1の領域と前記第2の領域とが互いに重ならないよう構成したことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/148 ,  H01L 31/10 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 B ,  H04N 5/335 U ,  H01L 31/10 A

Fターム (29件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA04 ,  4M118DA03 ,  4M118DB08 ,  4M118EA07 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024CA33 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5F049MA02 ,  5F049MB12 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049PA04 ,  5F049PA10 ,  5F049PA14 ,  5F049QA14 ,  5F049QA15 ,  5F049RA08 ,  5F049SS02