電位測定装置、及び電位測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-235587
公開番号（公開出願番号）：特開2007-051885
出願日： 2005年08月16日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：

【課題】測定対象面の電位測定に係る検出信号の誤差成分を補正できるようにした電位測定装置ないし方法を提供することである。【解決手段】電位測定装置は、測定対象面101と検知電極102間の静電容量を変化させる容量変化手段103、検知電極102に静電誘導される電荷量を検出する検出手段104、測定対象面101から検知電極102に対して発生する電気力線を検知電極102から遮蔽して検知電極102に入射する電気力線の量を一定期間以上固定的にする遮蔽状態と、測定対象面101から検知電極102に対して発生する電気力線を検知電極102から遮蔽しない非遮蔽状態を選択的に生起させる遮蔽手段105を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物の電位を測定する電位測定装置であって、検知電極と、測定対象物と検知電極との間の静電容量を変化させる容量変化手段と、検知電極に静電誘導される電荷量を検出する検出手段と、測定対象物と検知電極との間に生じうる電気力線から前記検知電極を遮蔽する遮蔽手段と、を有し、前記遮蔽手段は、前記検知電極を遮蔽した遮蔽状態で前記検出手段から信号を得るとともに、前記検知電極を遮蔽しない非遮蔽状態で前記検出手段から信号を得るべく、遮蔽状態と非遮蔽状態を切り替える手段を有することを特徴とする電位測定装置。

IPC (3件)：

G01R 29/12 , G03G 15/00 , G03G 21/00

FI (4件)：

G01R29/12 Z , G01R29/12 A , G03G15/00 303 , G03G21/00

Fターム (12件)：

2H027DA02 , 2H027DE04 , 2H027DE07 , 2H027DE09 , 2H027EA01 , 2H027EA02 , 2H027EC06 , 2H027ED03 , 2H027ED06 , 2H027HA14 , 2H027ZA07 , 2H134QA02

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許第4,720,682号公報
米国特許第3,852,667号公報
米国特許第4,763,078号公報

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