特許
J-GLOBAL ID：200903059711777830
酸 化 物 結 晶 製 造 用 ル ツ ボ の 製 造 方 法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029663
公開番号（公開出願番号）：特開平6-219888
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【目的】 繰り返し使用回数の大きな酸化物結晶育成用白金ルツボの製造方法の提供を目的とする。【構成】 ルツボ状成形基体の内側表面に窒素イオンを照射しつつ、該内側表面にチタンをイオンビームスパッタリングで蒸着しながら窒化チタン層を設け、次いでその上に高純度白金層を設ける。【効果】 育成結晶中への不純物混入量を著しく減少させることができ、従来の白金ルツボより繰り返し使用回数も増加する。
請求項（抜粋）：
白金からなるルツボ状成形基体の内側表面に窒化チタン層を設け、その上に高純度白金層を設けたことを特徴とする酸化物結晶製造用ルツボの製造方法において、ルツボ状成形基体の内側表面に窒素イオンを照射しつつ、該内側表面にチタンをイオンビームスパッタリングで蒸着しながら窒化チタン層を設けることを特徴とする酸化物結晶製造用ルツボの製造方法。
IPC (5件)：
C30B 15/10
, C23C 14/22
, C23C 14/34
, C23C 14/46
, C30B 35/00
