特許

J-GLOBAL ID：200903059713590568

シリコン溶融用石英坩堝

発明者： 白川 義徳
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045945
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235177
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】シリコン溶融石英坩堝の倒れ込み防止およびシリコン単結晶の内質の改善。【解決手段】石英坩堝をカーボン坩堝の内部に挿入した二重構造のシリコン溶融用坩堝の石英坩堝1 であって、坩堝の上部が外側に開いた花びら状の襞2 が側壁と一体に設けられているシリコン溶融用石英坩堝。【効果】石英坩堝の上部に襞を設けることにより、側壁の倒れ込みや石英坩堝とカーボン坩堝との間にSiO ガスの侵入がなくなり、無転位のシリコン単結晶を引き上げることができる。

請求項（抜粋）：

石英坩堝をカーボン坩堝の内部に挿入した二重構造のシリコン溶融用坩堝の石英坩堝であって、坩堝の上部が外側に開いた花びら状の襞が側壁と一体に設けられていることを特徴とするシリコン溶融用石英坩堝。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B ,  H01L 21/208 P