特許
J-GLOBAL ID:200903059724120148

パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-359727
公開番号(公開出願番号):特開平11-190664
出願日: 1997年12月26日
公開日(公表日): 1999年07月13日
要約:
【要約】【課題】 受光素子の許容レンジを上回るほどパワーが大きなパルスレーザ光の測定を迅速に行うことのできる測定方法および測定装置を実現すること。【解決手段】 パルスレーザ光のピークパワーを測定する際のパルスレーザ光パワー測定方法であって、前記パルスレーザ光の基準特性式を決定した後に、前記パルスレーザ光のパワーを測定し、その立ち上がり特性を前記基準特性式にあてはめて前記パルスレーザ光の出力を示す近似式を求め、前記近似式によりパルスレーザ光のピークパワーを推定する。
請求項(抜粋):
パルスレーザ光のピークパワーを測定する際のパルスレーザ光パワー測定方法であって、前記パルスレーザ光の基準特性式を決定した後に、前記パルスレーザ光のパワーを測定し、その立ち上がり特性を前記基準特性式にあてはめて前記パルスレーザ光の出力を示す近似式を求め、前記近似式によりパルスレーザ光のピークパワーを推定することを特徴とするパルスレーザ光パワー測定方法。
IPC (2件):
G01J 11/00 ,  G01J 1/02
FI (2件):
G01J 11/00 ,  G01J 1/02 K

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