特許
J-GLOBAL ID：200903059729413224

MEMSスイッチ

発明者：
川久保 隆

川久保 隆 について

, 
長 野 利 彦

長 野 利 彦 について

, 
西 垣 亨 彦

西 垣 亨 彦 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  高橋 佳大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-201064
公開番号（公開出願番号）：特開2008-027812
出願日： 2006年07月24日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】可動梁と接点電極との間に充分な接触圧力が得られ、かつ、両者間の接触抵抗も小さく抑制できる構造を有するMEMSスイッチを提供する。【解決手段】固定部2と、下部電極4上に形成された第1の絶縁層5、及び、第1の絶縁層5上に形成された上部電極6を含み、一方の端部が固定部2により支持及び固定された可動梁3と、可動梁3の他方の端部の底面に対向して、基板1上に形成された固定電極10と、固定電極10に対向する領域における下部電極4及び第1の絶縁層5に形成された開口部に、固定電極10に対向する可動梁3の底面よりも下方に突出して、上部電極6と電気的に接続され且つ下部電極4と絶縁されて形成された接点電極9と、下部電極4と固定電極10とを絶縁する一方、接点電極9と固定電極10とが接触し得るように、接点電極9と対向する領域に開口部を有して固定電極10上に形成された第2の絶縁層11と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上に形成された固定部と、 下部電極、前記下部電極上に形成された第1の絶縁層、及び、前記第1の絶縁層上に形成された上部電極を含み、一方の端部が前記固定部により支持及び固定された可動梁と、 前記可動梁の他方の端部の底面に対向して、前記基板上に形成された固定電極と、 前記固定電極に対向する領域における前記下部電極及び前記第1の絶縁層に形成された開口部に、前記固定電極に対向する前記可動梁の底面よりも下方に突出して、前記上部電極と電気的に接続され且つ前記下部電極と絶縁されて形成された接点電極と、 前記下部電極と前記固定電極とを絶縁する一方、前記接点電極と前記固定電極とが接触し得るように、前記接点電極と対向する領域に開口部を有して前記固定電極上に形成された、又は、前記固定電極に対向する前記下部電極の底面に前記接点電極を避けて形成された第2の絶縁層と、 を備えていることを特徴とするMEMSスイッチ。
IPC (2件)：
H01H 59/00 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
H01H59/00 ,  B81B3/00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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