特許
J-GLOBAL ID：200903059731885699
走査型フォース顕微鏡
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326454
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181190
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】空気中、真空中でも原子配列の観察を可能にする走査型フォース顕微鏡を実現する。【構成】カンチレバー1とその先端に設けられた探針2とが、構造体7を介して配置された試料5、試料ホールダ8、および駆動機構9に相対し、カンチレバー1の探針部2の反対側に設けられた電極3とその対極、支持体6上に設けられた電極4との間に電圧を印加し、カンチレバー1で検出できる試料5からの力を調節する。
請求項（抜粋）：
力を検出するカンチレバーを備えた走査型フォース顕微鏡において、上記カンチレバーで検出する力を調節する手段を有することを特徴とする走査型フォース顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
