特許

J-GLOBAL ID：200903059748903941

ウエハ検出機構

発明者： 長坂 旨俊
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-216140
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050796
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 キャリア等の収納体内に収納されたウエハの前後方向の傾斜を読み取り、収納体内のウエハの取り残しを防止できるウエハ検出機構を提供する。【解決手段】 キャリアCが昇降する時に光線Lを照射する発光素子11と、この発光素子11からの光線Lを受光するようにキャリアCの後方に配設された受光素子12と、キャリアCの昇降により変動する受光素子12の受光量に基づいてウエハWを検出する。ウエハWの光線通過前後における受光量の多寡を電圧値に基づいて比較する比較器16の比較結果に基づき、通過直前の受光量が通過直後の受光量より多い時にはウエハWが前上がりであると判定し、通過直前の受光量が通過直後の受光量より少ない時にはウエハWが前下がりであると判定する傾斜方向判定器17を設け、更に、傾斜方向判定器17の判定結果を加味してウエハ搬送機構30のピンセット31の挿入位置を補正する。

請求項（抜粋）：

複数のウエハが上下方向等間隔を空けて収納された収納体の前方に配設され且つ上記収納体が昇降する時に光線を照射する発光素子と、この発光素子からの光線を受光するように上記収納体の後方に配設された受光素子と、上記収納体の昇降により変動する上記受光素子の受光量に基づいて上記ウエハを検出するウエハ検出機構において、上記ウエハの上記光線通過前後における上記受光量の多寡を電気量に基づいて比較する比較手段を設けると共に、上記比較手段の比較結果に基づき、通過直前の受光量が通過直後の受光量より多い時には上記ウエハが前上がりであると判定し、通過直前の受光量が通過直後の受光量より少ない時には上記ウエハが前下がりであると判定する傾斜方向判定手段を設けたことを特徴とするウエハ検出機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 541 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 541 ,  B65G 49/07 D