特許
J-GLOBAL ID：200903059759781279
微小表面硬度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302560
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159941
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【構成】 先端に探針(12)を取り付けた両持ちレバー(11)、その両持ちレバーを固定する両持ちレバー台(14)、両持ちレバーの変位を測定する1軸レバー用アクチュエータ(15)、試料の位置を変化させる3軸観察用アクチュエータ(17)、および、変位計(16)からなる表面硬度測定装置であって、探針の垂直押し込み力と押し込み深さとの測定により微小表面の硬さを測定する。【効果】 押し込み力-押し込み深さとの測定によってナノスコピックレベルにおける微小表面硬度測定を行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
中間部に探針を配設した両持ちレバーと、その両持ちレバーを固定する両持ちレバー台、両持ちレバー用の1軸アクチュエータ、試料の位置を変化させる観察用3軸アクチュエータ、並びに変位計とを備えた表面硬度測定装置であって、両持ちレバーに配設した探針を試料表面に垂直に押し込み、この時の押し込み力と押し込み深さとを測定して微小硬さ測定を行うことを特徴とする微小表面硬度測定装置。
引用特許：
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