特許
J-GLOBAL ID：200903059763940195
枚葉式気相成長装置の排気管
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277684
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112140
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 枚葉式気相成長装置の反応容器内を流れるガスを、均一で再現性のある流れにすることができるようにする。【構成】 反応容器1に接続する排気管6の断面形状を前記反応容器1の断面形状と同一にし、この排気管6の第1の直線部6aから第1の曲がり部6bを経て第2の直線部6cに至る間の排気管6内部に、この排気管6の形状に沿った多数の細管からなる細管構造7を配設する。細管構造7の終端以降すなわち第2の直線部6cよりも下流側の排気管の直径、断面形状、曲がり等は自由に選択することができる。基体2上を流れるガスは、前記細管構造7の整流作用により乱されることがなく、均一で再現性のある流れにすることが可能となるので、高品質のエピタキシャル薄膜を得ることができる。また、気相成長装置をコンパクトにまとめることができるので、装置の省スペース化に寄与する。
請求項（抜粋）：
枚葉式気相成長装置の反応容器内にセットされた基体上を通過するガス流の方向と同一の方向に長い形状を有することを特徴とする枚葉式気相成長装置の排気管。
IPC (2件)：
引用特許：
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