特許
J-GLOBAL ID：200903059793755597
恒温槽の常温コントロール装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076417
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260877
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 単一の温度制御要素に基づいて安定した温度状態となるように管理でき、かつ一定の温度条件を作り出す上で、消費エネルギを少なくする。【構成】 温度設定器50で目標とする温度が1°C乃至49°Cの常温範囲に設定されると、温度センサ47による検出信号がフィードバック信号として動作制御信号生成回路51に取り込まれて、それと目標温度とから、この目標温度に対して許容誤差範囲内である±1°Cの上限温度または下限温度となるような動作制御信号が作動制御回路52に出力されて、作動制御回路52で温度制御要素を作動させる調整信号が出力される。温度センサ47の検出信号が下限温度より低いと、ヒータ41,42が作動してこの下限温度となし、この時には冷媒供給配管40は停止した状態に保持される。温度センサ47の検出信号が上限温度より高いと、冷媒供給配管40のみが作動して、槽内温度が上限温度となるように制御される。
請求項（抜粋）：
ICハンドラの恒温槽の内部に、加熱手段及び冷却手段と、槽内の空気を循環するためのファンとを装着して、恒温槽内に供給されるICデバイスを所定の温度状態にして、その電気的特性を測定するものにおいて、前記恒温槽内を常温の範囲内で一定の温度状態に保持するために、常温検出用の温度センサと、目標とする温度を設定する温度設定器と、温度センサによる検出温度と温度設定器による目標温度とに基づいて、目標温度が検出温度より高い時には、加熱手段を作動させて、目標温度より所定温度だけ高い上限温度状態に保持するようになし、また目標温度が検出温度より低い時には、冷却加熱手段を作動させて、目標温度より所定温度だけ低い下限温度状態に保持するように制御する制御手段とから構成したことを特徴とする恒温槽の常温コントロール装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
