特許
J-GLOBAL ID：200903059794663599
高精度座標測定器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-325920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157516
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】 測長や座標の測定器において、移動部分を軽量化して、アッベ誤差の無い高精度測定を可能にする。【構成】基台1に反射鏡Mを設け、X、Y軸に沿って移動可能な可動ホルダ2には、反射鏡Mで反射した検出光路を検出する表面位置検出器3と、反射鏡Mとの相対的位置を検出する干渉計光学系Iを被測定物4から2fの位置に設けてなる高精度座標測定器であって、移動部分を軽量化して被測定物の測長や座標の1次元、2次元、3次的測定が高精度に出来るようにしたもの。
請求項（抜粋）：
基台と、X軸またはY軸上で前記基台に固設された反射鏡と、前記基台に対して前記反射鏡を設けた軸に沿って移動可能に設けられた可動ホルダと、前記反射鏡との相対的位置を検出するために前記可動ホルダ上で被測定物から2fの位置に固定された干渉計光学系と、検出光路が前記反射鏡で反射するように前記可動ホルダに固設された表面位置検出器とを備えたことを特徴とする高精度座標測定器。ここで、fは前記表面位置検出器の対物レンズの焦点距離である。
IPC (2件)：
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