特許
J-GLOBAL ID：200903059802994451
ポジ型感放射線性樹脂組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-179940
公開番号（公開出願番号）：特開平8-044053
出願日： 1994年08月01日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【構成】 (1)(i)m-クレゾールと(ii)少なくとも2,3-キシレノール、3,4-キシレノールおよび2,3,5-トリメチルフェノールの一種と(iii)下記式(1)【化1】(式中、Rはアルキレン基、アルケニレン基、シクロアルキレン基、ポリシクロアルキレン基、アリーレン基またはアラルキレン基を示し、1は0又は1である。)で示される少なくとも1種のアルデヒドとを重縮合反応して得られるアルカリ可溶性樹脂および(2)キノンジアジト化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【効果】 特にフォーカス許容性に優れるとともに、感度、解像度、耐熱性およびパターン形状にも優れるので、今後さらに高集積化が進むと考えられる集積回路製造用ポジ型レジストとして極めて有用である。
請求項（抜粋）：
(1)(i)m-クレゾールと(ii)2,3-キシレノール、3,4-キシレノールおよび2,3,5-トリメチルフェノールからなる群から選択される少なくとも1種のジメチルあるいはトリメチルフェノールまたはこの少なくとも1種のジメチルあるいはトリメチルフェノールとそれ以外のフェノール類(但し、m-クレゾールを除く)との組合せと(iii)下記式(1)【化1】(式(1)中、Rは炭素数1〜10の置換もしくは非置換のアルキレン基、炭素数2〜10の置換もしくは非置換のアルケニレン基、炭素数5〜10の置換もしくは非置換のシクロアルキレン基、炭素数7〜12の置換もしくは非置換のポリシクロアルキレン基、炭素数6〜18の置換もしくは非置換のアリーレン基または炭素数8〜18の置換もしくは非置換のアラルキレン基を示し、lは0又は1である。)で示される少なくとも1種のアルデヒドまたはこの少なくとも1種のアルデヒドとそれ以外のアルデヒドとの組合せとを重縮合反応して得られるアルカリ可溶性樹脂および(2)キノンジアジト化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (2件)：
前のページに戻る
