特許
J-GLOBAL ID：200903059805948477
膜の熱的物性値又は厚みの測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227359
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066195
出願日： 1991年09月06日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【構成】 基板上に試料膜を有する2試料であって、各々の試料膜の材質が同一であり且つ膜厚が異なると共に、各々の基板の材質及び板厚が同一である2試料を、光透過窓を有する密閉容器内に配し、該窓を介して光を試料膜に断続しながら照射し、発生する音響をマイクロホンで計測することにより、照射した光と発生する音響との位相差を前記2試料の各々について求め、これら2試料の位相差の差と、膜及び基板の熱的物性値、比重及び厚みと位相差の差との関係式とに基づき、試料膜の熱的物性値又は厚みを求めることを特徴とする膜の熱的物性値又は厚みの測定方法。【効果】 膜厚が 0.3mm以下の如く薄い場合においても、誤差が小さくて測定精度が高く、そのため膜の熱的物性値又は厚みを高精度で求めることができるようになる。
請求項（抜粋）：
基板上に試料膜を有する2試料であって、各々の試料膜の材質が同一であり且つ膜厚が異なると共に、各々の基板の材質及び板厚が同一である2試料を、光透過窓を有する密閉容器内に配し、該窓を介して光を試料膜に断続しながら照射し、発生する音響をマイクロホンで計測することにより、照射した光と発生する音響との位相差を前記2試料の各々について求め、これら2試料の位相差の差と、膜及び基板の熱的物性値、比重及び厚みと位相差の差との関係式とに基づき、試料膜の熱的物性値又は厚みを求めることを特徴とする膜の熱的物性値又は厚みの測定方法。
IPC (5件)：
G01N 21/00
, G01B 11/06
, G01B 17/02
, G01B 21/08
, G01N 29/00 501
