特許

J-GLOBAL ID：200903059813466015

ウェーハ姿勢合わせ装置及び該装置を具備した半導体製造装置

発明者： 油谷 幸則
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169602
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003929
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの姿勢合わせをウェーハカセットが水平姿勢のまま行える様にし、更にウェーハ姿勢合わせ装置の小型化を図り、又ウェーハの大口径化に対応したウェーハ姿勢合わせ装置を提供する。【解決手段】帯状の台板10の先端部にウェーハ受載テーブル15を回転自在に設けると共に該ウェーハ受載テーブルに従動プーリ17を設け、前記台板の基部にオリエンテーションモータ22を設け、該オリエンテーションモータに設けた駆動プーリと前記従動プーリとにベルト24を掛回し、前記台板に姿勢合わせ用センサ26を設け、前記ウェーハ受載テーブルに受載された周縁部を検出する様構成し、オリエンテーションモータの駆動によりベルト、従動プーリを介してウェーハ受載テーブルを回転し、該ウェーハ受載テーブルの回転によりウェーハが回転し、該ウェーハの周縁部を検出している姿勢合わせ用センサによりオリエンテーションフラット、或はノッチが検知され、該オリエンテーションフラット、或はノッチの検知で前記ウェーハ受載テーブルの回転を停止してウェーハの姿勢合わせが行われる。

請求項（抜粋）：

帯状の台板の先端部にウェーハ受載テーブルを回転自在に設けると共に該ウェーハ受載テーブルに従動プーリを設け、前記台板の基部にオリエンテーションモータを設け、該オリエンテーションモータに設けた駆動プーリと前記従動プーリとにベルトを掛回し、前記台板に姿勢合わせ用センサを設け、前記ウェーハ受載テーブルに受載された周縁部を検出する様構成したことを特徴とするウェーハ姿勢合わせ装置。