特許
J-GLOBAL ID：200903059813761572

塗布装置および塗布方法ならびにプラズマディスプレイ部材の製造装置および製造方法

発明者：
久田 徳夫

久田 徳夫 について

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吉山 高史

吉山 高史 について

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安田 登志夫

安田 登志夫 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-061713
公開番号（公開出願番号）：特開2003-251257
出願日： 2002年03月07日
公開日（公表日）： 2003年09月09日
要約：
【要約】【課題】ノズル塗布時における基板の傾き調整と位置決めを精度良く、かつ少ない動作でノズルとの位置合わせを可能としてタクトを短縮するとともに、異なったサイズの基板にも容易に切り替え対応できる塗布装置を提供する。【解決手段】ノズル内のペーストを吐出孔から基板上の溝へ吐出させながら、ノズルと基板を相対移動させて、基板上の溝にペーストを塗布する塗布装置において、基板の位置を計測する第1の手段、基板の基準溝の位置を計測する第2の手段、およびノズルの基準孔の位置を計測する第3の手段とを有し、第1の手段で得られた基板の位置情報に基づき基板の角度を調整するとともに基板を所定位置に位置決めし、かつ、第2の手段で得られた基板の基準溝の位置情報と第3の手段で得られたノズルの基準孔の位置情報により基板とノズルの位置を相対的に位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
ノズル内のペーストを吐出孔から基板上の溝へ吐出させながら、ノズルと基板を相対移動させて、基板上の溝にペーストを塗布する塗布装置において、基板の位置を計測する第1の手段、基板の基準溝の位置を計測する第2の手段、およびノズルの基準孔の位置を計測する第3の手段とを有し、第1の手段で得られた基板の位置情報に基づき基板の角度を調整するとともに基板を所定位置に位置決めし、かつ、第2の手段で得られた基板の基準溝の位置情報と第3の手段で得られたノズルの基準孔の位置情報により基板とノズルの位置を相対的に位置合わせすることを特徴とする塗布装置。
IPC (8件)：
B05C 13/00 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  B05D 7/00 ,  H01J 9/227 ,  H01J 11/02
FI (9件)：
B05C 13/00 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 C ,  B05D 3/00 D ,  B05D 7/00 H ,  H01J 9/227 E ,  H01J 11/02 B
Fターム (35件)：
4D075AC06 ,  4D075AC07 ,  4D075AC73 ,  4D075AC86 ,  4D075CA47 ,  4D075CB09 ,  4D075DA07 ,  4D075DA32 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EA14 ,  4D075EA45 ,  4D075EC11 ,  4F041AA02 ,  4F041AA17 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA23 ,  4F041BA34 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042BA10 ,  4F042DD19 ,  4F042DD44 ,  4F042DF07 ,  5C028FF16 ,  5C040FA10 ,  5C040GG09 ,  5C040JA13 ,  5C040MA23 ,  5C040MA26
引用特許：
審査官引用 (3件)

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