特許
J-GLOBAL ID：200903059815830873
薄膜トランジスタアレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168561
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043632
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【目的】 寄生容量の増加を抑制すると同時に、液晶パネル内での反射光がチャネル層に入射することを防止した薄膜トランジスタアレイを提供する。【構成】 TFT上に半導体膜からなる遮光膜と反射防止膜の双方をそれぞれ独立に設けた。【効果】 液晶パネル内での反射光がチャネル層に入射することを防止できるため、オフ電流が低減化し、もって液晶ディスプレイの表示品質を向上させる。
請求項（抜粋）：
透明基板上に複数の走査信号ラインとこれに直交する複数のデータ信号ラインとが配置され、これらの各交点に薄膜トランジスタが配置されている薄膜トランジスタアレイにおいて、前記薄膜トランジスタの活性層である半導体層上に絶縁膜を介して遮光膜を設け、前記薄膜トランジスタのソース・ドレイン電極上に絶縁膜を介して反射防止膜を設けていることを特徴とする薄膜トランジスタアレイ。
IPC (5件)：
G02F 1/136 500
, G02B 1/11
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335
, G02B 1/10 A
, H01L 29/78 619 B
