周期性パターンの欠陥検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蛭川昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-245122
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103911
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】ラインセンサカメラの画素配列方向と周期性パターンの配列方向に角度があっても正弦波状のノイズを抑え、感度低下を招くことなく欠陥検査を行うことを可能にする。【構成】線状領域撮影手段により副走査方向に長い領域を撮影して得られる映像信号を主走査方向にサンプリングし、サンプリングされた各データを演算し、所定のスライスレベルを越える信号を欠陥として検出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料移動装置により一定速度で移動する試料を光源で照明し、その透過光を線状領域撮影手段により撮影した信号から周期性パターンに発生する欠陥を検出する方法において、線状領域撮影手段により副走査方向に長い領域を撮影して得られる映像信号を主走査方向にサンプリングし、サンプリングされた各データを演算し、所定のスライスレベルを越える信号を欠陥として検出することを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24 , G06T 7/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-260585
特開平1-260585
特開平1-307646

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