基板搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：芝野正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079740
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277984
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】シュートの間隔を変更する場合に確実に基板等の異物がシュート上に無いことを検出する。【解決手段】コンベア幅自動段取り動作が起動されると、先ず、基板検出センサ20の状態がチェックされ、基板を検出してない場合、コンベアベルト7、13が回動され、基板4がセンサ20に検出された場合には異常表示が表示装置30になされ、自動段取り動作は禁止される。

請求項（抜粋）：

その両側端部を一対のシュートで案内して基板を搬送するものであり、該一対のシュートの間隔を変更可能な基板搬送装置において、前記シュート上の前記異物の有無を検出するセンサと、前記基板の搬送を駆動する搬送駆動源と、前記一対のシュートの間隔を変更する場合には少なくとも該駆動源を駆動させながら前記センサに異物の有無の検出をさせるよう制御する制御手段とを設けたことを特徴とする基板搬送装置。

Fターム (11件)：

5E313AA11 , 5E313CC04 , 5E313DD02 , 5E313DD03 , 5E313DD05 , 5E313DD07 , 5E313DD11 , 5E313DD12 , 5E313DD13 , 5E313DD50 , 5E313FG02

引用特許：

審査官引用 (5件)

プリント基板多連搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-196403 出願人：ソニー株式会社
画像形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-055957 出願人：三田工業株式会社
特開平4-286523

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