特許
J-GLOBAL ID：200903059845419744
回路基板の位置ずれ計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 進 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257531
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091917
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 多数枚取り基板の位置ずれの計測に際し、多数枚取り基板を構成する大基板上の複数の小基板の各計測点における誤差を吸収するようにして、全体の計測精度に影響するのを防止し、高精度の位置ずれ計測を可能にする計測方法を提供する。【構成】 大基板上の複数の小基板のうち任意の大きさの四角形を形成する4枚の小基板の原点を検出し、当該4枚の小基板の原点を4隅とする長方形を当てはめ、該長方形の4隅の位置と検出した原点位置との誤差について最小二乗法を用いることにより、前記多数枚取り基板の位置ずれを求める。
請求項（抜粋）：
多数枚取り基板を構成する大基板上の複数の小基板のうち任意の大きさの四角形を形成する4枚の小基板の原点を検出し、当該4枚の小基板の原点を4隅とする長方形を当てはめ、該長方形の4隅の位置と検出した原点位置との誤差について最小二乗法を用いることにより、前記多数枚取り基板の位置ずれを求めることを特徴とする、回路基板の位置ずれ計測方法。
IPC (2件)：
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