特許
J-GLOBAL ID:200903059850882550
光学式変位測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 長七 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-133073
公開番号(公開出願番号):特開平9-318315
出願日: 1996年05月28日
公開日(公表日): 1997年12月12日
要約:
【要約】【課題】 簡単な構成で位置検出センサに入る測距に必要のない光を除去する。【解決手段】 光ビームを発生する投光源1と、光ビームを測定物体2に照射する投光光学系と、光ビームの測定物体2での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検出センサ3とを備えた三角測距原理による光学式変位測定装置である。測定物体2の所定の位置に照射された光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通過させ、それ以外の光が入らないようにするための遮光体4を設ける。
請求項(抜粋):
光ビームを発生する投光源と、光ビームを測定物体に照射する投光光学系と、光ビームの測定物体での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検出センサとを備えた三角測距原理による光学式変位測定装置において、測定物体の所定の位置に照射された光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通過させ、それ以外の光が入らないようにするための遮光体を設けて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 11/00 B
, G01C 3/06 A
引用特許:
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