特許

J-GLOBAL ID：200903059856094979

基板搬送方法およびその装置

発明者： 寺田 裕英 ,  鈴木 統三
出願人/特許権者： 株式会社テンリュウテクニックス
代理人 (1件)： 加藤 静富 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308253
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138498
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】基板の停止時に掛かる基板への衝撃を最小にして、安定した位置決めができると共に、基板の質量が変わっても、簡単かつ短時間にその段取り替えができて、生産性を向上できる基板搬送方法およびその装置を提供する。【解決手段】基板搬送の途中において、その所定停止位置へ、該基板cが停止手段3に当接することで停止して位置決めされる基板搬送にあって、移送路sに進入する基板cを第一検出手段4により検出して基板認識を行ない、認識された該基板cの固有データに基づいてこの基板cに対する加減速時間および微速搬送時間の設定を行ない、所定停止位置への基板cの位置決め時、該基板cの搬送速度を減速させた後、更に、停止手段3に至るまでの所定時間を微速搬送させる。

請求項（抜粋）：

搬送手段に載置され、機体における一方向から他方向へ移送路に沿って、所定速度で搬送される基板の搬送において、所定停止位置へ、該基板が停止手段に当接することで停止して位置決めされる基板搬送方法にあって、前記所定停止位置への前記基板の位置決め時、該基板の搬送速度を減速させた後、更に、前記停止手段に至るまでの所定時間において微速搬送させることを特徴とする基板搬送方法。

IPC (4件)：

H05K 13/02 ,  B65G 23/00 ,  B65G 43/00 ,  B65G 49/07

FI (5件)：

H05K 13/02 U ,  B65G 23/00 C ,  B65G 43/00 D ,  B65G 43/00 G ,  B65G 49/07 A

Fターム (13件)：

3F027AA02 ,  3F027CA02 ,  3F027DA04 ,  3F027EA01 ,  3F027EA05 ,  3F027FA03 ,  3F027FA13 ,  5E313AA11 ,  5E313DD01 ,  5E313DD02 ,  5E313DD03 ,  5E313DD12 ,  5E313FF11