特許
J-GLOBAL ID：200903059862895967
静電容量型力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
伊藤 進 (外1名)
, 伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198482
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055615
出願日： 1993年08月10日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 静電容量を大きくするとともに圧力検出部を小型化することのできる静電容量型力センサを提供する。【構成】 弾性誘電体14と電極13,15とを複数積層してコンデンサ素子4を形成し、このコンデンサ素子4とコイル素子6とを圧力検出部1に配設する。コンデンサ素子4とコイル素子6とは電気的に並列接続され、圧力検出部1の外部に設けられた回路とともに共振周波数f0 を求める共振回路を形成している。そして、圧力Fがコンデンサ素子4に加わると、このコンデンサ素子4の対向距離tが変化し静電容量Cが変化し、この変化を共振周波数f0 の変化から求め圧力Fを測定する。ここで、上記コンデンサ素子4の静電容量Cは、弾性誘電体の静電容量であるため大きな値で検出でき、構造的に圧力検出部の小型化を図ることが可能となる。
請求項（抜粋）：
圧力検出部のコンデンサ素子の加圧力に伴う静電容量の変化を求めることにより圧力を測定する静電容量型力センサにおいて、上記コンデンサ素子の対向電極間に、加圧により弾性変化をする弾性誘電体を介装したことを特徴とする静電容量型力センサ。
引用特許：
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