特許

J-GLOBAL ID：200903059881133300

光学式高さ測定装置

発明者： ヨセフ ルイス ホレイオン ,  クリスチャン ヘンドリック フランス フェルツェル ,  コルネリス サンダー クーエイマン
出願人/特許権者： フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094380
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331319
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】 広い高さ範囲に亘って高分解で物体の表面の高さを測定できる光学式高さ測定装置を提供する。【構成】 軸(4)に沿う表面(25)の高さを、この表面と軸(4)とが交差する部分に形成される照明スポット(31)の軸方向の位置を測定することにより決定する。表面で反射しレンズ(8)によって集光された放射は軸(4)上に像スポットを形成する。像スポットの位置は検出ユニット(35)により軸方向に沿う少なくとも3個の位置における放射の強度を測定することにより決定される。検出ユニットの出力信号(44,44′)を電子手段(43)において処理し最大放射強度の位置を決定すると共に振幅が像スポット(32)すなわち照明スポット(31)の軸方向位置を表わす信号(43′)を発生させる。

請求項（抜粋）：

物体表面の高さを光学的に測定する装置であって、予め定めたビーム軸に沿って伝播し物体の表面上に照明スポットを形成する放射源と、前記照明スポットからの放射を放射ビームに集束させる結像光学系とを具え、前記放射ビームが結像光学系の像空間において前記ビーム軸上に像スポットを形成する光学式高さ測定装置において、前記結像光学系の像空間に配置され、ビーム軸に沿う少なくとも3個の位置で前記放射ビームからの放射を受光し、受光した放射を電気信号に変換する検出ユニットと、前記電気信号から、前記少なくとも3個の位置のうち最大量の放射を受光した位置を決定し、決定した位置を前記照明スポットの位置において物体表面の高さと関係付ける電子手段とを具えることを特徴とする光学式高さ測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/00