特許

J-GLOBAL ID：200903059882715710

熱処理装置

発明者： 石橋 智行
出願人/特許権者： 光洋リンドバーグ株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-053690
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263369
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 炉芯管内の急速かつ均一な降温を可能とする。【構成】 炉芯管3 とヒータ周壁8 との間に冷却ガス通路が形成されており、ヒータ周壁8 の上方、中程および下方に、冷却ガス通路に冷却ガスを導入するインジェクタノズル22,32,42が設けられている。各インジェクタノズル22,32,42に接続される配管24,34,44途中に、冷却ガス導入量調節バルブ25,35,45が設けられている。

請求項（抜粋）：

被処理物を収納する炉芯管と、炉芯管を取り囲むように配置されたヒータとを備え、炉芯管とヒータ周壁との間に冷却ガス通路が形成されている熱処理装置において、冷却ガス通路に通じる複数の冷却ガス導入部がヒータ周壁の長手方向の異なる箇所に設けられていることを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-278522
  
• 特開昭61-241916
  
• 特開平3-278522