特許

J-GLOBAL ID：200903059883828690

TiN被膜の形成方法

発明者： 大窪 修一 ,  向井 幸一郎 ,  広田 芳明
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  新日鐵化学株式会社
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-331184
公開番号（公開出願番号）：特開平6-157174
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【目的】 TiNの被膜形成時にクラックが発生し難く、簡便に大面積の被覆が可能なTiN被膜の形成方法を提供する。【構成】 Ti粉末及びカーボンブラックとフェノール樹脂あるいはフラン樹脂の少なくとも1種からなる熱硬化性樹脂とを混合して原料組成物を調製し、得られた原料組成物を炭素質材料の表面に塗布し、次いでN2 雰囲気下で加熱するTiN被膜の形成方法である。【効果】 本発明方法によれば、被膜表面にクラックが発生し難いために良好なTiN被膜を得ることができ、炭素質材料の耐摩耗性や耐食性等を向上させることができる。従って、例えば、ロール、電極、ルツボ、ヒーター、各種冶具等に好適に適用することができる。

請求項（抜粋）：

Ti粉末及びカーボンブラックとフェノール樹脂あるいはフラン樹脂の少なくとも1種からなる熱硬化性樹脂とを混合して原料組成物を調製し、得られた原料組成物を炭素質材料の表面に塗布し、次いでN2 雰囲気下で加熱することを特徴とするTiN被膜の形成方法。

IPC (2件)：

C04B 41/87 ,  C01B 21/076