特許

J-GLOBAL ID：200903059892323755

排気方法

発明者： 斉藤 昌司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186241
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029448
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 気密容器付着物を除去し大気に解放される気密容器の排気を短時間で実行できる排気方法を提供する。【構成】 開閉扉を開き気密容器を大気に解放する以前に気密容器壁を所定の温度に加熱し、大気解放中および開閉扉を閉じて気密容器内を真空排気中の所定時間、気密容器を所定の加熱温度に維持し、次に所定の温度に冷却する。他の方法は気密容器を長時間大気に解放後、排気操作開始前より少なくとも気密容器を所定の温度に加熱し、開閉扉を閉じて気密容器内を排気中の所定時間、気密容器を所定の加熱温度に維持し、次に所定の温度に冷却する。また、その他の方法は、気密容器を大気に解放中、気密容器を所定の温度に加熱し、開閉扉を閉じて気密容器内を排気中の所定時間所定の加熱温度に維持し、次に所定の温度に冷却する。

請求項（抜粋）：

開閉扉を開き気密容器を大気に少なくとも解放する以前に気密容器壁を所定の温度に加熱する工程と、気密容器を大気解放中および上記開閉扉を閉じて気密容器内を真空排気中の所定時間、少なくとも上記気密容器を所定の加熱温度に維持する工程と、次に上記気密容器を所定の温度に冷却する工程とからなることを特徴とする排気方法。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-178518
  
• 特開昭61-231166
  
• 特開平2-233417