超低温用磁気軸受

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敏忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295205
公開番号（公開出願番号）：特開平9-137828
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】誘導型変位センサへの磁気軸受やモータからの漏れ磁束の侵入を防ぎ、ノイズの発生しない磁気軸受を提供する。【解決手段】センサコイル(4)及びセンサヨーク(5)よりなる誘導型変位センサ(3)を超電導材(7A)で囲う。

請求項（抜粋）：

超低温において使用される磁気軸受であって、回転軸に固定した磁性材料製の回転子ヨークと、この回転子ヨークから微小間隔の距離をおいてケーシングに取付けられていて、起磁力を発生させるコイルを備えた電磁石固定子と、前記回転軸とケーシング間の相対変位を測定する誘導型変位センサと、この変位センサからの変位信号に基づいて前記回転子ヨークと前記電磁石固定子間に作用する磁気吸引力を制御する補償回路および電力増幅器とを具備する磁気軸受において、前記誘導型センサを超電導材で囲ったことを特徴とする超低温用磁気軸受。

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