特許
J-GLOBAL ID：200903059896210815
塗布装置および塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247094
公開番号（公開出願番号）：特開平11-076894
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 省設置スペースで、しかも塗布液の無駄を抑制しながら、基板に塗布液を塗布することができる塗布装置および塗布方法を提供する。【解決手段】 ノズル1に対して外部タンク51が別個独立して設けられるとともに、ノズル1と外部タンク51とが連通管52によって連通されており、当該連通管52を介してノズル1内に設けられた塗布液槽11に塗布液が適宜補充する。このため、塗布処理により塗布液槽11内の塗布液が消費されても直ちに外部タンク51から塗布液が補充され、液面高さの変動を抑えることができる。また、上記のように外部タンク51を設けて適宜塗布液を補充するように構成しているので、塗布液槽11を小型化することができ、メンテナンス時などのために塗布液槽11内に残っている塗布液を廃棄するとしても、その廃棄量を最小限に抑制することができ、塗布液を効率よく使用することができる。
請求項（抜粋）：
基板を鉛直あるいは傾斜姿勢で保持する基板保持手段と、塗布液を一時的に貯留する塗布液槽と、前記塗布液槽から斜め上方に延設され、その先端部が外部流出口に連設された塗布液流出路とを有し、毛管現象によって前記塗布液流出路を介して前記塗布液槽内の塗布液を汲み上げて前記被塗布面に供給するノズル手段と、大気開放された状態で塗布液を貯留するとともに、前記塗布液槽に連通されて当該塗布液を前記塗布液槽に補充可能に構成された塗布液補充手段と、前記基板保持手段に保持された基板に前記ノズル手段を近接させた状態で、当該基板の被塗布面に沿って前記ノズル手段を相対的に移動させる移動手段とを備え、前記移動手段によって前記ノズル手段と前記基板とを相互に近接させた状態で相対的に移動させつつ、前記塗布液槽内の塗布液を前記基板の被塗布面に塗布するとともに、当該塗布処理と並行して前記塗布液補充手段内に貯留されている塗布液を前記塗布液槽に補充することを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 3/18
, B05C 11/105
, G03F 7/16 501
, H01L 21/027
B05C 3/18
, B05C 11/105
, G03F 7/16 501
, H01L 21/30 564 Z
