特許
J-GLOBAL ID：200903059896389670

単結晶蛍石または単結晶フッ化物の熱処理装置及び熱処理方法

発明者：
木村 和生

木村 和生 について

, 
高野 修一

高野 修一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について

, 
応用光研工業株式会社

応用光研工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195643
公開番号（公開出願番号）：特開2000-026198
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【課題】 光リソグラフィー用光学系のように高精度な光学系に、特に波長250nm以下の光リソグラフィーにおける光学系のように高精度な光学系に、使用できる高均質な単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)が得られる単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)の熱処理装置及び熱処理方法を提供すること。【解決手段】 少なくとも、単結晶蛍石を収納する第1容器12と、内部に単結晶蛍石13が設置された第1容器12を収納した後に密閉されて真空排気される気密化可能な第2容器11と、該第2容器11の外側に配置されたヒーター14とを有する単結晶蛍石の熱処理装置において、熱処理時における前記単結晶蛍石13の内部温度分布が中心軸対称性を有するように(或いは略中心軸対称性を有するように)、前記ヒーター14と前記第1容器12及び/または第2容器11が構成されていることを特徴とする単結晶蛍石の熱処理装置。
請求項（抜粋）：
少なくとも、単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)を収納する第1容器と、内部に単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)が設置された第1容器を収納した後に密閉されて真空排気される気密化可能な第2容器と、該第2容器の外側に配置されたヒーターとを有する単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)の熱処理装置において、熱処理時における前記単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)の内部温度分布が中心軸対称性を有するように(或いは略中心軸対称性を有するように)、前記ヒーターと前記第1容器及び/または第2容器が構成されていることを特徴とする単結晶蛍石(または単結晶フッ化物)の熱処理装置。
IPC (3件)：
C30B 29/12 ,  C30B 33/02 ,  G02B 1/02
FI (3件)：
C30B 29/12 ,  C30B 33/02 ,  G02B 1/02
Fターム (7件)：
4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077FE02 ,  4G077FE12 ,  4G077FK01 ,  4G077FK07 ,  4G077HA01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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