特許

J-GLOBAL ID：200903059901650241

低反射薄膜基板

発明者： 鈴木 忠勝
出願人/特許権者： 株式会社倉元製作所
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-046481
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243801
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 液晶パネル用カラーフィルタ基板用ブラックマトリックス等に有用なクロムを用いない低反射薄膜基板を提供する。【解決手段】 可視光域において、極小反射率が0.5%以下、光学濃度が4以上で、透明ガラス基板上にスパッタリングによりNi、Fe、Co、Mo、W、TaまたはNbの1種以上からなる薄膜が成膜されている低反射薄膜基板。

請求項（抜粋）：

可視光域において、極小反射率が0.5%以下、光学濃度が4以上で、透明ガラス基板上にスパッタリングによりNi、Fe、Co、Mo、W、Ta、またはNbの1種以上からなる薄膜が成膜されていることを特徴とする低反射薄膜基板。

IPC (6件)：

G02B 1/11 ,  C23C 14/18 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 ,  C23C 14/14

FI (6件)：

G02B 1/10 A ,  C23C 14/18 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 ,  C23C 14/14 D