特許
J-GLOBAL ID：200903059902787062
弾性表面波ジャイロスコープ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-137021
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318360
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 コリオリ力の検出レベルを高くする。【解決手段】 圧電基板21の表面にコリオリ力を検出するIDT22を挟んで弾性表面波発生用のIDT23、IDT24及び反射器25,25′〜27,27′が一列に配列されている。高周波発振器3,4からIDT23、24にそれぞれ高周波(f0+Δf),(f0-Δf)が印加されて2種類の弾性表面波が発生する。両弾性表面波は反射器25,25′、反射器26,26′で反射されて定在波となり、IDT23,24間に干渉波(f0)が発生する。この状態で圧電基板21が回転運動を行なうと、干渉波との相互作用により90°位相のずれたコリオリ力に起因する弾性表面波が発生する。この弾性表面波は反射器27,27′で反射されて定在波となり、この定在波は圧電効果により電気信号に変換されてIDT22により検出される。
請求項（抜粋）：
圧電基板の表面に複数の電極を配列形成してなるコリオリ力の検出部が設けられ、この検出部に弾性表面波による振動を発生させ、この振動と圧電基板の回転運動との相互作用により発生したコリオリ力を圧電効果により電圧に変換して検出する弾性表面波ジャイロスコープであって、上記検出部は、第1の弾性表面波を発生させるべく第1の高周波が印加される第1の駆動用電極と、上記第1の弾性表面波と異なる周波数を有する第2の弾性表面波を発生させるべく第2の高周波が印加される第2の駆動用電極と、上記第1の弾性表面波の定在波を発生させるべく上記第1及び第2の駆動用電極の両外側に形成され、上記第1の弾性表面波を第1の駆動用電極側に反射する一対の第1の反射器用電極と、上記第2の弾性表面波の定在波を発生させるべく上記第1及び第2の駆動用電極の両外側に形成され、上記第2の弾性表面波を第2の駆動用電極側に反射する一対の第2の反射器用電極と、第1の弾性表面波と第2の弾性表面波との干渉波と圧電基板の回転運動との相互作用により発生するコリオリ力に基づく第3の弾性表面波を定在波にするべく上記第1及び第2の駆動用電極の両外側に形成され、上記第3の弾性表面波を第1及び第2の駆動用電極側に反射する一対の第3の反射器用電極と、上記第1及び第2の駆動用電極間に形成され、圧電効果により上記コリオリ力に起因する歪に応じて発生する電気信号を検出する検出用電極とから構成されていることを特徴とする弾性表面波ジャイロスコープ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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