ボンディング装置におけるボンディング荷重検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩川修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198534
公開番号（公開出願番号）：特開平10-027818
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】ボンディング荷重を高精度且つ容易に検出できるようにすること。【解決手段】キャピラリ17を用いて被ボンディング物をボンディング物上に加圧ボンディングするワイヤボンディング装置10であって、キャピラリの可動範囲に設置され荷重-変位特性が予め測定された板ばね22を有し、この板ばねがキャピラリにて付与されるボンディング荷重にて変位せしめられたときの変位から、荷重-変位特性に基づき上記ボンディング荷重を検出するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

ボンディングツールを用いて被ボンディング物をボンディング物上に加圧ボンディングするボンディング装置であって、上記ボンディングツールの可動範囲に設置され荷重-変位特性が予め測定された荷重検出部材を有し、この荷重検出部材が上記ボンディングツールにて付与されるボンディング荷重にて変位せしめられたときの変位から、上記荷重-変位特性に基づき上記ボンディング荷重を検出することを特徴をするボンディング装置におけるボンディング荷重検出装置

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