特許

J-GLOBAL ID：200903059912991385

膜厚測定方法および装置、磁気記録媒体の形成方法および形成装置

発明者： 菊地 清幸 ,  岩渕 賢治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-209406
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028617
出願日： 2001年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】磁気記録媒体の全面および全長における2つの層の膜厚の測定が可能であり、塗布工程中の膜厚のリアルタイムな測定が可能な膜厚測定装置を提供する。【解決手段】偏光方向が異なる第1および第2の偏光光を磁気記録媒体に向けて出力可能な光源としての発光部60と、磁気記録媒体を透過した第1および第2の偏光光の光量を検出する受光部65と、発光部60の出力する光量と、受光部65の受光した受光量とに基づいて、第1および第2の層の膜厚をそれぞれ算出する膜厚算出手段としてのコントローラ80とを有する。

請求項（抜粋）：

光を透過する材料から形成された支持体と、前記支持体上に形成された配向性を有しない第1の層と、前記第1の層上に形成された配向性をもつ第2の層とを有する磁気記録媒体の前記第1および第2の層の膜厚を非接触で測定する膜厚測定装置であって、偏光方向が異なる第1および第2の偏光光を前記磁気記録媒体に向けて出力可能な光源と、前記磁気記録媒体を透過した前記第1および第2の偏光光の光量を検出する受光手段と、前記光源の出力する光量と、前記受光手段の受光した受光量とに基づいて、前記第1および第2の層の膜厚をそれぞれ算出する膜厚算出手段とを有する膜厚測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/06 ,  G01B 11/06 101 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

G01B 11/06 Z ,  G01B 11/06 101 Z ,  G11B 5/84 C ,  G11B 5/84 Z

Fターム (18件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065CC02 ,  2F065CC31 ,  2F065DD00 ,  2F065FF46 ,  2F065FF49 ,  2F065GG06 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM14 ,  2F065MM24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ29 ,  5D112JJ01