特許

J-GLOBAL ID：200903059915296319

感光性樹脂組成物及びポジ型パターン形成方法

発明者： 宮本 真奈
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-382571
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212678
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】従来のポリイミド樹脂と同等の膜特性を有していながら、高解像度、かつ、高感度である感光性樹脂組成物及びその樹脂組成物を用いてなるポジ型パターン形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】次の一般式(I)で表されるイミド化合物【化20】(ただし、式中、R1は1個又は2個の水酸基を有する同一又は異なる芳香族基からなる2価の有機基であり、R2は脂肪族基又は芳香族基からなる4価の有機基であり、R3は同一又は異なる不飽和結合を有する2価の有機基であり、nは1〜10の整数である。)と、(B)2以上のCH2=CH-O-基を有するビニルエーテル化合物と、(C)活性光線によって酸を発生する感光剤と、(D)架橋剤と、(E)溶剤とを有することを特徴とする感光性樹脂組成物及びポジ型パターン形成方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で表されるイミド化合物

IPC (9件)：

G03F7/037 ,  C08F2/44 ,  C08F16/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/039 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (9件)：

G03F7/037 501 ,  C08F2/44 B ,  C08F16/00 510 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/027 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/38 501 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (29件)：

2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2H025FA12 ,  2H096AA25 ,  2H096BA11 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J011AA05 ,  4J011PA43 ,  4J011QA08 ,  4J011SA83 ,  4J011SA87 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01