特許
J-GLOBAL ID：200903059916938608
自動ペリクル貼付装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288044
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106067
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】本発明は、自動ペリクル貼付装置において、必要とする剥離力の大きさにかかわらず粘着剤保護シートを容易に剥離し得る。【解決手段】凸部が先端部分に配設され、ペリクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離する際に、該粘着剤保護シートの所定端部に穿設された穴に凸部を係止させて剥離する剥離手段を備える。また、粘着剤保護シートの所定端部をつかみ、該粘着剤保護シートの面内方向とほぼ同一方向に移動し、この後、該粘着剤保護シートの面内方向とほぼ直交方向に移動してペリクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離する剥離手段を備える。
請求項（抜粋）：
マスク又はレチクルを防塵するペリクル付フレームを貼付する自動ペリクル貼付装置において、凸部が先端部分に配設され、前記ペリクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離する際に、該粘着剤保護シートの所定端部に穿設された穴に前記凸部を係止させて剥離する剥離手段を具えることを特徴とする自動ペリクル貼付装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
