特許

J-GLOBAL ID：200903059920029710

オートフォーカス装置およびオートフォーカス方法

発明者： 二村 高広 ,  湯川 典昭 ,  石井 彰一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221384
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 シート状体に対する検査の際のフォーカス時間を短縮して、1ロットにおけるシート状体1枚当たりの平均検査時間を短縮することができ、1日の検査可能枚数を増加することができるオートフォーカス装置およびオートフォーカス方法を提供する。【解決手段】 オートフォーカスの回数を重ねていくに従って、それら過去のフォーカス情報からシート状体S1のたわみ状態を学習し、フォーカス位置情報テーブル11に新たなフォーカス情報に基づくデータを蓄積していき、シート状体S1における新たな位置をフォーカスする際に、そのフォーカス位置が過去にフォーカスした場所の近傍にある場合には、その近傍位置に対応するフォーカス位置情報テーブル11内のフォーカス情報に基づいて、新たな位置に対するフォーカス範囲は縮小する。

請求項（抜粋）：

シート状体を撮像するためのカメラを、その光軸が前記シート状体の配置面に対して垂直になるように配置するとともに、前記カメラの光軸であるZ軸方向に駆動するZ軸駆動手段と、そのZ軸駆動手段および前記カメラを用いて前記シート状体に対する撮像の際のオートフォーカスを行うオートフォーカス手段と、前記カメラまたはシート状体を前記カメラ光軸と垂直なX軸およびY軸を含むXY平面上で駆動するXY平面駆動手段と、前記Z軸駆動手段およびオートフォーカス手段およびXY平面駆動手段の各駆動を制御する駆動制御手段とを備えたオートフォーカス装置。

FI (2件)：

G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 Z

Fターム (5件)：

2H051AA00 ,  2H051CE16 ,  2H051DA11 ,  2H051DA33 ,  2H051GB12