特許
J-GLOBAL ID:200903059928447472
セラミック体及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-018368
公開番号(公開出願番号):特開平6-263543
出願日: 1994年02月15日
公開日(公表日): 1994年09月20日
要約:
【要約】【目的】 多くの満足すべき特性を兼備するセラミック体及び簡単で且つ安価なセラミック体の製造方法を提供すること。【構成】 20〜30原子%のマグネシウム、20〜30原子%の珪素、40〜60原子%の窒素及び多くとも15原子%の酸素を含有することを特徴とするセラミック体及びその製造方法。
請求項(抜粋):
20〜30原子%のマグネシウム、20〜30原子%の珪素、40〜60原子%の窒素及び多くとも15原子%の酸素を含有することを特徴とするセラミック体。
IPC (2件):
C04B 35/58 301
, H01L 23/15
引用特許:
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