検査条件設定プログラムと検査装置と検査システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-107284
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303868
出願日： 2002年04月10日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】本発明は,半導体集積回路など複数の製品を1枚の基板で同時に形成して製造する製品において,異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件を効率的かつ高精度に設定するために実行するプログラムを提供する。特に,セル比較領域の設定と非検査領域の設定を効率化する。【解決手段】品種コードの入力処理11,チップサイズや配置情報の入力処理12,回路レイアウトデータ読込み処理13,繰返しパターン領域座標の抽出処理14,疎領域座標の抽出処理15,回路パターン条件登録処理16を,順次実行する。

請求項（抜粋）：

被検査対象の有する異物ないしはパターン欠陥の位置を検出する検査装置の検査条件を設定するために実行するプログラムにおいて,被検査対象に形成される回路レイアウトデータを読み込む回路レイアウト読み込み処理と,該回路レイアウト読み込み処理で,読み込まれた回路レイアウトデータから,回路レイアウト内の繰返しパターン領域の座標を抽出する繰返しパターン領域座標抽出処理と,該繰返しパターン領域座標抽出処理で,抽出した繰返しパターン領域の座標を,検査装置の検査領域として登録する検査領域登録処理とを実行することを特徴とする検査条件設定プログラム。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , G06T 7/00 200

FI (4件)：

H01L 21/66 J , G01N 21/956 A , G06T 1/00 305 D , G06T 7/00 200 Z

Fターム (25件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 4M106AA01 , 4M106CA16 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106CA50 , 4M106DB30 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC32 , 5L096BA03 , 5L096FA01 , 5L096FA69 , 5L096HA07 , 5L096JA03

引用特許：

審査官引用 (16件)

自動パターン分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-254780 出願人：日本電子株式会社
特開平3-074855
特開平4-077969

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