特許
J-GLOBAL ID:200903059936741363

光センサの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 洋二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-162217
公開番号(公開出願番号):特開平9-018027
出願日: 1995年06月28日
公開日(公表日): 1997年01月17日
要約:
【要約】【目的】 光センサにおいて、遮光マスクをスクリーン印刷を用いて精度よくパターン形成する。【構成】 受光素子2を金型3、4を用いてモールド成形し(図1(a))、イジェクタピン6、7を用いてモールド成形品を金型3、4から離型し(図1(b))、離型によりモールド成形品の表面に生じた段差を滑らかにするバーニング処理を施し(図1(c))、このバーニング処理の施された表面に遮光マスクをスクリーン印刷し(図1(d))、表面に遮光マスク13が形成された光センサを得る(図1(e))。
請求項(抜粋):
受光素子を金型を用いてモールド成形し、イジェクタピンを用いてモールド成形品を前記金型から離型し、離型したモールド成形品の表面に遮光マスクをスクリーン印刷して光センサを製造する方法において、前記離型により前記モールド成形品の表面に生じた段差を滑らかにするバーニング処理を施し、このバーニング処理の施された表面に前記遮光マスクをスクリーン印刷することを特徴とする光センサの製造方法。
IPC (2件):
H01L 31/02 ,  H01L 21/56
FI (2件):
H01L 31/02 B ,  H01L 21/56 J

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