特許
J-GLOBAL ID:200903059958384238
走査型顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-097302
公開番号(公開出願番号):特開2000-292705
出願日: 1999年04月05日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 蛍光観察と同一の注目領域における形態情報等を蛍光観察と併せて同時観察でき、かつ、短時間で両者の観察画像を得ることができる走査型顕微鏡。【解決手段】 低コヒーレンス光源1と、光源1からの光を第1光路と第2光路に分割する手段2と、一方の光路又は両光路を通過した光に周波数差を生じさせる周波数変調手段3a,3bと、第1光路に配置され試料5に光を照射しまた試料5からの光を集光する対物光学系4と、光軸に垂直な面内で試料5と対物光学系4による照射光とを相対的に走査する手段12と、第1光路と第2光路を合成する手段8と、合成された光から周波数差の干渉信号を検出する干渉信号検出系9と、低コヒーレンス光により励起された試料5からの蛍光を分岐する手段10と、分岐された蛍光を検出する蛍光検出系11とを有する。
請求項(抜粋):
低コヒーレンス光源と、前記低コヒーレンス光源からの低コヒーレンス光を第1の光路と第2の光路に分割する手段と、前記第1の光路又は前記第2の光路あるいはその両光路に配置され、それぞれの光路の光路長を変化させることなく、前記第1の光路と前記第2の光路を通過したそれぞれの光に周波数差を生じさせるための周波数変調手段と、前記第1の光路に配置され、試料に光を照射し、また前記試料からの光を集光するための対物光学系と、前記第1の光路に配置され、前記対物光学系の光軸に垂直な面内で、前記試料と前記対物光学系による照射光とを相対的に走査する走査手段と、前記第1の光路と前記第2の光路を合成する手段と、合成された光から前記周波数差の干渉信号を検出するための干渉信号検出系と、前記低コヒーレンス光により励起された試料からの蛍光を分岐する蛍光分岐手段と、前記蛍光分岐手段により分岐された蛍光を検出するための蛍光検出系と、を有することを特徴とする走査型顕微鏡。
IPC (3件):
G02B 21/00
, G02B 21/18
, G02B 21/22
FI (3件):
G02B 21/00
, G02B 21/18
, G02B 21/22
Fターム (15件):
2H052AA04
, 2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AB24
, 2H052AB26
, 2H052AC04
, 2H052AC14
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD19
, 2H052AD31
, 2H052AD34
, 2H052AF04
, 2H052AF11
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