特許
J-GLOBAL ID：200903059959422842
プロセスの学習制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035540
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244501
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 操業条件が変更される場合のプロセス制御精度を高める。【構成】 プロセスの操作量を設定する際、プロセスの操業条件により影響因子及び制御量の目標値が変更される場合、まず、プリセットモデルに制御量の目標値と影響因子の値を代入して操作量を求め、次に、制御量の目標量と影響因子の値をニューラルネットワークに入力し、このニューラルネットワークの出力としてプリセットモデルの設定誤差を予測し、最後に、ニューラルネットワークにより予測した設定誤差で操作量の設定値を補正する。
請求項（抜粋）：
予めオフライン解析し設定したプリセットモデルを用いて、プロセスの操業条件に応じた操作量をプリセットすることによりプロセスを制御する方法に於て、プロセスの目標値,影響因子の値及びプリセットモデルの過去の設定誤差を、ニューラルネットワークに入力することにより今回のプリセットモデルの設定誤差を予測し、プリセット値を補正することを特徴とするプロセスの学習制御方法。
IPC (5件)：
G05B 13/02
, C21D 11/00 101
, G05B 13/04
, G06F 15/18 550
, G06G 7/60
