特許

J-GLOBAL ID：200903059964173141

走査電子顕微鏡及び試料撮影方法

発明者： 森本 剛司 ,  渡邉 俊哉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100042
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294183
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 容易に広視野観察を行い、高精度なつなぎ写真を作成することのできるようにする。【解決手段】 試料表面の最大寸法Lx,Ly及び写真上における2視野の重なり合う範囲を入力し、倍率MにおけるSEM観察始点座標点を指定する。制御装置6は、観察始点の座標及び対物レンズ3のフォーカス電流Isの値を記憶する。試料XY駆動モータを制御して自動で視野移動を行い、ステージ移動後にオートフォーカスを作動させ対物レンズ3のレンズ電流値Iaを検出する。Ia及びIsよりフォーカスずれを算出し、Z軸駆動部13によって試料ステージ9をZ軸方向に駆動してフォーカスを合わせたのちSEM像を取り込む。

請求項（抜粋）：

試料に走査される電子線を収束する対物レンズと、前記対物レンズに励磁電流を供給するレンズ電源と、試料を保持して移動可能な試料ステージと、前記試料ステージを光軸に垂直な方向に駆動する第1の駆動手段と、前記試料ステージを光軸に平行な方向に駆動する第2の駆動手段と、前記レンズ電源及び前記第1,第2の駆動手段を制御する制御装置とを含む走査電子顕微鏡において、前記制御装置は、試料の所望観察範囲と観察倍率の入力を受けて、当該観察倍率における試料上の電子線照射範囲及び該電子線照射範囲で前記所望観察範囲をカバーするのに必要な試料ステージの移動回数を算出する機能と、前記算出された移動回数に従い前記第1の駆動手段を制御して前記試料ステージを自動的に移動させる機能とを有することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502

FI (2件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 H

Fターム (3件)：

5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC04