ブラシ洗浄装置およびブラシ洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182517
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015189
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】この発明は被洗浄物をスポンジブラシで洗浄する際、このスポンジブラシと被洗浄物とその相対速度の変化を少なくして洗浄効果を高めることができるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】回転駆動されるスポンジブラシ31aによって回転駆動される半導体ウエハ22を洗浄するブラシ洗浄装置において、上記半導体ウエハを保持して回転駆動する回転チャック11と、回転駆動される上記スポンジブラシを上記半導体ウエハの径方向に沿って移動させる揺動機構32と、上記スポンジブラシを上記揺動機構による移動方向に対して所定の角度で傾斜させて保持する揺動アーム33とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転駆動される洗浄ブラシによって回転駆動される被洗浄物を洗浄するブラシ洗浄装置において、上記被洗浄物を保持して回転駆動する保持手段と、回転駆動される上記洗浄ブラシを上記被洗浄物の径方向に沿って移動させる駆動手段と、上記洗浄ブラシを上記駆動手段による駆動方向に対して所定の角度で傾斜させて保持する角度調整手段とを具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 1/04 , H01L 21/304 644 , H01L 21/304

FI (3件)：

B08B 1/04 , H01L 21/304 644 B , H01L 21/304 644 C

Fターム (9件)：

3B116AA03 , 3B116AB34 , 3B116AB48 , 3B116BA02 , 3B116BA13 , 3B116BB22 , 3B116BB38 , 3B116BB43 , 3B116CD43

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-019730
特開平1-019730

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