特許

J-GLOBAL ID：200903059970349499

処理ガスの供給方法及びその装置

発明者： 堀内 孝 ,  五味 久 ,  伊藤 昌秀 ,  陣内 新平
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-137536
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298171
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】 液体で0.5CCM(液体)程度の、成膜の量産に十分な量の高粘度液体の粘度を低下させて高精度に流量制御しつつ供給することが可能な処理ガスの供給装置を提供する。【解決手段】 高粘度の有機アルミニウム金属化合物32を気化して処理ガスを形成し、この処理ガスを処理装置に供給する処理ガスの供給装置において、有機酸素化合物を加えることにより粘度を低下した前記有機アルミニウム金属化合物の原料液体を収納する液体収納容器34と、この液体収納容器と前記処理装置とを結ぶ供給通路36と、前記粘度の低下された原料液体を前記供給通路に圧送する圧送手段38と、前記原料液体を前記供給通路内に吸引する吸引機能と原料液体の流量制御機能とを兼ね備えるポンプ手段と、前記供給通路の途中に介設されて流れてくる前記源料液体を気化して処理ガスを形成する気化手段40とを備えるように構成する。これにより、有機アルミニウム金属化合物に有機酸素化合物を添加することにより形成した粘度の低い原料液体を気化させ、処理ガスとして供給する。

請求項（抜粋）：

高粘度の有機アルミニウム金属化合物を気化して処理ガスを形成し、この処理ガスを処理装置に供給する処理ガスの供給方法において、前記有機アルミニウム金属化合物に有機酸素化合物を加えることにより粘度を低下させ、粘度の低下したこの有機アルミニウム金属化合物を吸引しつつその流量制御を行なうポンプ手段により気化手段に供給して気化させるように構成したことを特徴とする処理ガスの供給方法。

IPC (3件)：

H01L 21/285 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/285 C ,  C23C 16/44 C ,  H01L 21/205