特許
J-GLOBAL ID:200903059974679817

配向膜に対する凹凸模様の転写装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-143659
公開番号(公開出願番号):特開平8-006027
出願日: 1994年06月24日
公開日(公表日): 1996年01月12日
要約:
【要約】【目的】 本願発明は、多少のうねりや凹凸あるいは傾斜を有している基板上に配向膜を形成する場合であっても、ムラの少ない状態で凹凸模様の転写ができるとともに、離型の際に配向膜準備層の一部を剥離させることがなく、剥離欠陥を生じさせることのない転写装置の提供を目的とする。【構成】 本願発明は、凹凸模様が形成された型部材を基板上の配向膜準備層に押圧して配向膜準備層上面に凹凸模様を転写することにより配向膜を形成する凹凸模様の転写装置において、剛体からなるプレス基体11と、このプレス基体11に対向配置された弾性部材12と、この弾性部材12の前記プレス基体と対向していない側に設けられたシート状の型部材13を具備してなることを特徴とする配向膜に対する凹凸模様の転写装置。
請求項(抜粋):
凹凸模様が形成された型部材を基板上の配向膜準備層に押圧して配向膜準備層上面に凹凸模様を転写することにより配向膜を形成する凹凸模様の転写装置において、剛体からなるプレス基体と、このプレス基体に対向配置された弾性部材と、この弾性部材の前記プレス基体と対向していない側に設けられたシート状の型部材を具備してなることを特徴とする配向膜に対する凹凸模様の転写装置。

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